光散射法的颗粒物监测仪由于其较低的检测能力目前在国内应用最为广泛，尤其是后向闪射法的仪器利用其安装使用简便等优势在污染源颗粒物除尘设备后应用较多，但该技术同样也存在一定的缺陷和不足。

例如后向散射法的仪器尽管安装使用方便，但在三种散射法中是检测限最高的，一般检测无低于30mg/m³，这种原理监测已经比较困难；前向散射法和边向散射法的仪器尽管检测灵敏度进一步提高，但其受到安装使用条件要求高、深入烟道探杆长度有限等问题的困扰。

另外，光散射法的仪器与管透射法的仪器同样易受到水汽的影响和干扰，一方面测量镜头容易被水汽或颗粒物污染需要必要的气幕保护；另一方面如果烟道内出现保护液态水滴将大大影响和干扰光学法的测量结果。

因此，在比较恶劣的环境条件下应增加对光散射法颗粒物监测仪器的维护频次，保证其在污染源现场稳定可靠运行。