高温烟气湿度仪测量烟气含水量的方法主要有干湿氧测定法、湿度传感器测定法、激光光谱法、红外光度法等。干湿氧测定法是通过氧传感器测定湿烟气及干烟气的含氧量并计算出烟气中水分含量，该法在美国等国外 CEMS的应用很普遍。采用湿度传感器测定法是通过耐腐蚀的阻容式等湿度传感器测定烟气中含水分量的方法，目前在国内应用较多。激光光谱法是基于半导体激光器发出的特征光谱被水汽吸收的原理测定烟气的湿度；红外光度法也是利用水汽对红外光源发射的红外线光谱对特定谱线的吸收原理测定烟气水分。