颗粒物监测仪的比对监测由于颗粒物手工采样不能在污染源现场读取测量数据，因此必须回到实验室完成滤筒烘干称重后才能进行数据结果比对。颗粒物监测仪比对监测结果往往受到“颗粒物相关校准”的影响。

目前，安装使用的颗粒物监测仪一般不能直接给出烟气中颗粒物质量浓度值，仅能直接给出光透率、电流信号或电压信号等，且也很难找到像气态污染物标准气体一样的标准浓度颗粒物对其进行校准，其测试方法一般为大点和线测量而手工采样测量的是断面平均浓度。因此在颗粒物监测仪验收前，必须与手工参比方法进行相关校准，找到CEMS测量数据与手工参比数据之间存在的线性关系。同流速速度场系数类似，这部分校准工作应该在颗粒物监测仪验收前的调试检测中完成的，有关调试检测的内容和操作可参见HJ/T-75—2007标准中相关规定。将得到的相关曲线方程的斜率和截距输入CEMS软件过程参数设置中，并定期检查和校验。

颗粒物监测仪比对监测不合格很可能是因为受到相关校准的影响，颗粒物监测仪调试检测取得相关校准曲线的斜率和截距（未做、未输入或条件变化使系数变化等）一旦不准确，应尽快重新校准校验曲线的斜率和截距后方可再次进行颗粒物监测仪的比对监测。