热湿法烟气在线监测系统通常由高温型取样系统、高温型测量系统及分析机柜等组成。高温型取样系统包括带加热过滤器的高温取样探头、高温条件下运行的测量、反吹、校准阀件和电伴热烟气传输管线和反吹管线等。

高温测量系统现在使用的检测系统有两种：一种是在分析仪前使用抽取泵，将高温型抽取泵、连接管道和高温分析仪器的传感器气室等安装在一个恒温柜中；另一种在分析仪后设置射流泵，通过分析仪来抽取样气。

热湿法烟气在线监测系统样品分析流程设计时应考虑分析仪的工作特性，确定所需的气量、加热温度等因素。

在用于烟气中含有HCL、HF、NH3等微量检测时，要特别注意连接管道管壁的吸附性，即使采用PTFE材料的气路对HCL、HF、NH3仍有吸附。

为防止灰尘在探头处沉降、聚集，而将采样探头及过滤器堵塞，将经过缓冲的压缩空气引入进行大流量吹扫，可增加压缩空气程控反吹的设计，将过滤器和采样探头中停留的灰尘全部吹回烟道中。探头疏堵自动完成，维护量大幅减少、管道阻力平稳，可提高测量数据的精确度和保持稳定的系统快速响应。