固定污染源排放废气VOCs内通常伴随着大量的以气态方式存在的水分，这些水分不仅会造成样品在采集和从传输过程中的损失，更对测量造成严重的影响。这时就要对废气中的水分进行处理。

通常VOCs在线监测系统处理被测气体中的水分有以下三种方式：

1.气态脱水技术：

保证水分在气态的状态下从被测的VOCs中分离出去，这样在去除水分的同时不丢失VOCs的组成成分，最大限度的保留了打车气体的组成含量。这种技术常用于喷涂等排放废气湿度较大的行业。

2.全程高温采样进样技术：

全程加热采和监测能明显减少被测气体中水分的冷凝，防止样品依附于管道。从采样探头经样品传输管线，到仪器内部的进样流路，以及流路的切换阀、采样泵和检测器，全程采用高温（120℃~180℃）进行伴热，放置样品冷凝流失。这种技术常用于石油化工等行业。

通常使用经严格处理的干态零器对样品进行50~200稀释比的稀释，大大减少样品中的水分含量，削弱水分的干扰和影响。这种技术常用于电子行业等排放VOCs浓度较高的行业。