常见的腐蚀性气体有氨气、氯气、二氧化硫、三氧化硫、硫化氢、氟化物、氮氧化物等，特别是这些气体与水发生化学反应后产生极强的耐酸性物质，如氯气与水生成盐酸和次氯酸、硫化物与水生成硫或稀硫酸，氟化物与水生成氢氟酸等，都将产生很严重的腐蚀。

     样品处理系统的金属管材、接头、阀件及其他各种部件，与腐蚀性样品接触的材质大多可采用316不锈钢。但在某些场合不锈钢也会被腐蚀，必须选择其他的耐腐蚀材质，如钛合金。

     含氯及氯化物的气体样品，由于湿的含氯样品会产生盐酸和次氯酸，316不锈钢可耐干的含氯样品的腐蚀，而不耐盐酸及次氯的腐蚀，湿的含氯样品必须采用其他耐腐蚀材质。金属材质中只有哈氏合金、钛材等可以耐湿氯腐蚀，但价格昂贵。采用塑料管材（PVC氟塑料）可耐湿氯腐蚀，但耐温、耐压及密封性能远不如金属材质，并易老化。因此，对含氯样品应采取保温在样品的露点之上，使样品处于干的状态；湿的含氯样品可采取先降温除水，再保温传送方法，可延长316不锈钢的使用寿命。

    316不锈钢也不能用于湿的含氧化物的样品。

    铝合金也适用于含微量二氧化硫及氮氧化物样品的使用。