烟气流量监测的本质是烟气流速测量，根据烟气流速的测定和烟道横截面积可求得烟气的实际流量，因此烟气流量测量也称为烟气流速测量。烟气流速的测量方法有压差法、超声波法、热平衡法、声波法、靶式流量计法、光闪烁法、红外线法等。

常用的烟气流量监测方法是测量烟气流速，测定原理分别是压差法、热平衡和超声波法。目前国内CEMS常用的是压差法测量流速，测量误差较大；热平衡法及超声波测量法的测量精度较高，价格较贵，监测要求较高的CEMS，也开始配套这两种仪器。

烟气流速仪的取样点选择是否具有代表性，取样点所在烟道的烟气流场分布是否均匀，设备管道可能的漏风等，对烟气流速的准确测定都会带来影响。特别是大烟道和低流速流量测量的准确性难度较大。某些流速仪在低流速的测量中存在较大误差，例如常用的皮托管压差法流速仪的最低流速测量应大于3m/s，一般推荐在流速大于5m/s的场合使用。

烟气流量的测量结果要转换为标准状态下干烟气的流量，在计算中需要测量烟气的温度、压力，以及输入烟气水分的测量值，通常的烟气流量监测可以给出湿烟气及干烟气的实时流量值，因此，测定CEMS的烟气流量的产品，大多是将烟气温度、烟气压力、烟气流速或流量的测量做成三位一体化仪器。烟气温度与压力测量已经很成熟，通常在烟气流速仪中附有温度及压力传感器，将检测信号统一送流速仪的测量控制平台处理。

CEMS的烟气流速仪，基本分为点测量及线测量两类，测量结果必须换算到面测量的平均流速才能较为准确地计量湿烟气的流量。因此，烟气流速仪在现场调试中，需要按标准要求，测定所在烟道的速度场系数，对实测的湿烟气流速进行修正，然后再扣除烟气的实时含水分量，计算出干烟气流量