烟气湿度仪在出厂时必须经过校准，通常采用标准湿度发生器进行比对，标准湿度发生器采用高精度的露点标定。

众所周知，烟气露点与含水分量的体积分数也有对应关系（可查常用湿度单位换算表），例如，测量的气体露点20℃，相当于2.31%（体积分数）含水量，气体露点60℃，相当于水分20%（体积分数）含水量。

烟气水分仪在现场调试中也必须进行校准，采用标准规定的参比方法与仪器检测同步进行，参比方法采用手工测量方法，可选用重量法、冷凝法、干湿球法中的任一种方法测定。

通常在检测时，每天至少获得5个数据对，连续三天，将参比方法测定断面的平均值减去仪器显示的烟气水分值，计算烟气水分仪检测的绝对误差或相对误差。

也可以在现场用一个稳定的标准湿度发生器提供所需的湿度、并采用一台便携式水分仪精确测定其露点，在对烟气水分仪进行校准。要求用于露点校准的仪器必须经过国家认可的实验室校准。