烟气脱硝CEMS分析氮氧化物的技术主要有：a.红外光谱技术，包括非分散红外分析技术(NDIR)、气体过滤相关红外分析技术(GFC)、傅里叶变换红外光谱分析技术(FT-IR)；b.紫外光谱技术(NDUV)、紫外差分光学吸收光谱(DOAS)；c.半导体光光谱吸收法(TDLAS)；d.化学发光技术及电化学技术等。

抽取监测系统中常用的是非分光散外分析技术、气体过滤相关红外分析技术、紫外光谱技术、紫外差分光谱技术和化学发光技术等。红外光谱法和紫外光谱法在冷干抽取式 CEMS测量NOx的应用较为广泛。化学发光法技术的测量检出限低，灵敏度高，在稀释抽取式CEMS测量NO系统中经常采用。热湿抽取式CEMS测量NOz，主要是应用高温红外、高温紫外差分及傅里叶变换红外光谱分析技术较多。

通常烟气中NOx的总量主要是由NO及NO2组成，NO的含量一般占到90%以上。应用红外光谱或化学发光光谱技术的仪器测量对象是NO。对于监测NO2的测量，必须要通过氮氧化物转换炉将NO2转换为NO后进行测量，从而测得NOx的总量，采用NO2的总量减去不通过转化炉单独检测的NO含量就可以得到NO2的浓度。

在原位法直接式NOx监测系统中，主要采样的分析技术为紫外差分吸收光谱及半导体激光光谱吸收法测定技术。
脱硝出口的净烟气测量中，除测量氮氧化物外还需要测量微量的氨逃逸量，在测量氨逃逸量的技术中，由于微量氨(小于3μmol/mol)的测量难度较大，又易溶于水。测量微量氨大多采用原位激光气体光谱技术测定，也可以采用催化还原-化学发光法或热湿傅里叶变换红外光谱分析技术。