1.不受背景气体的影响：

半导体激光吸收光谱技术中使用的半导体二极管激光器的光谱宽度小于0.01nm，是非分光型红外气体分析仪的红外光源谱宽的1/106，远远小于被测气体的吸收谱线的谱宽。在单线吸收光谱图中，选择合适的谱线，可以对相应的一种气体进行检测，而不对其他气体产生干扰。

2.不受粉尘与视窗污染的影响：

对谐波法测量，气体的浓度由透射光强的二次谐波信号与直流信号的比值决定。当激光传输光路中的粉尘或视窗污染产生光强衰减时，两信号会同时衰减，从而保证比值不变，所以理论上讲，过程气体中的粉尘和视窗污染对仪器的测量结果没有影响。但要注意的是，当粉尘、视窗污染很大，或激光光源强度下降到10%左右时，仪器将不能工作。

3.自动修正温度、压力对测量的影响：

通常工业过程中被监测的烟气可能存在几百摄氏度和几个大气压的变化，这都会影响二次谐波信号波形的幅值与形状，进而影响测量精度，但加入温度和压力补偿算法，就可自动纠正测量精度 。